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深圳市中圖儀器股份有限公司

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當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測(cè)量?jī)x>>白光干涉儀>> SuperViewW1白光干涉三維測(cè)量系統(tǒng)

白光干涉三維測(cè)量系統(tǒng)

參  考  價(jià): 960000

訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào):SuperViewW1

品       牌:CHOTEST/中圖儀器

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:深圳市

更新時(shí)間:2024-06-25 18:00:07瀏覽次數(shù):985次

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產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,冶金,電氣,綜合
中圖儀器SuperViewW1白光干涉三維測(cè)量系統(tǒng)除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外,,具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,,非常適合晶圓,太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量,。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉三維測(cè)量系統(tǒng)具有測(cè)量精度高、操作便捷,、功能齊全,、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短,,確保了高款率檢測(cè)??蓽y(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D,、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn),。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量,。

白光干涉三維測(cè)量系統(tǒng)

產(chǎn)品應(yīng)用

對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。

應(yīng)用范例:

白光干涉三維測(cè)量系統(tǒng)

性能特色

1,、高精度、高重復(fù)性

1)SuperViewW1白光干涉三維測(cè)量系統(tǒng)采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng),,保證測(cè)量精度高;

2)隔振系統(tǒng),,能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),,消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,,獲得高測(cè)量重復(fù)性,;

2、環(huán)境噪聲檢測(cè)功能

具備的環(huán)境噪聲檢測(cè)模塊能夠定量評(píng)估出外界環(huán)境對(duì)儀器掃描軸的震動(dòng)干擾,,在設(shè)備調(diào)試,、日常監(jiān)測(cè)、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。

3,、精密操縱手柄

集成X、Y,、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦,、找條紋等測(cè)量前工作,。

4、雙重防撞保護(hù)措施

在初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),,儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),最大限度的保護(hù)儀器,,降低人為操作風(fēng)險(xiǎn),。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),,在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。


白光干涉三維測(cè)量系統(tǒng)

除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外,具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,,非常適合晶圓,,太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量,。結(jié)果組成:

1,、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,,表面結(jié)構(gòu),,缺陷分析,晶粒分析等,;

2,、二維圖像分析:距離,半徑,,斜坡,,格子圖,輪廓線等,;

3,、表界面測(cè)量:透明表面形貌,薄膜厚度,,透明薄膜下的表面,;

4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量,;

5,、劃痕形貌,摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測(cè)量,;

6、微電子表面分析和MEMS表征,。


主要應(yīng)用領(lǐng)域

1、用于太陽(yáng)能電池測(cè)量,;

2,、用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)量,;

3、用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測(cè)量,;

4,、用于機(jī)械部件的計(jì)量;

5,、用于塑料,,金屬和其他復(fù)合型材料工件的測(cè)量。


部分技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)W1
光源
白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標(biāo)配:10×

選配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光學(xué)ZOOM

標(biāo)配:0.5×

選配:0.375×;0.75×;1×

物鏡塔臺(tái)

標(biāo)配:3孔手動(dòng)

選配:5孔電動(dòng)


XY位移平臺(tái)

尺寸320×200㎜
移動(dòng)范圍140×100㎜
負(fù)載10kg
控制方式電動(dòng)
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動(dòng)
Z向掃描范圍10 ㎜
主機(jī)尺寸(長(zhǎng)×寬×高)700×606×920㎜

懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解,。

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。


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